问答题
简述湿法腐蚀相比干法刻蚀的优点
（1）对材料具有高的选择比 （2）不会对器件带来等离子体损伤 （3）设备简单
问答题 简述干法刻蚀的应用
问答题 简述负载和微负载效应的概念
问答题 简述刻蚀的概念及其基本目的
