问答题
薄膜成核生长阶段的高聚集来源于哪些原因？
（1）高的沉积温度；（2）气相原子的高的动能，对于热蒸发意味着高沉积率；（3）气相入射的角度增加......
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问答题 详述薄膜生长过程中具有明显特征的生长顺序（沉积阶段）。
问答题 有机金属化学气相沉积的特点有哪些？
问答题 低压溅射的主要优点有哪些？
