问答题
有机金属化学气相沉积的特点有哪些？
（1）反应装置较为简单，生长温度范围较宽；（2）可对化合物的组分进行精确控制，膜的均匀性和膜的电学性质重复性......
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问答题 低压溅射的主要优点有哪些？
问答题 磁控溅射具有的两大特点和需要优化的主要实验参数有哪些？
问答题 溅射原子的能童分布一般呈何分布，溅射原子的能量和速度具有哪些特点？
