问答题
Top metal和inter metal的厚度,线宽有何不同?
Top metal通常要比inter metal厚得多,0.18um工艺中inter me......
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问答题 为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug(钨插塞)?
问答题 Glue layer(粘合层)的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么?
问答题 简单说明Contact(CT)的形成步骤有那些?