判断题
负性光刻胶经曝光过的区域被溶解,而未曝光的区域被保留。
错误(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看答案解析 ↓↓↓)
判断题 曝光前要进行对准操作。
判断题 使用卧式氧化扩散炉时,在将硅片从花篮转移到石英舟的过程中,严禁裸手操作,一定要戴好乳胶手套,且不能用手直接接触硅片和石英舟。
判断题 进行薄膜淀积前,需先判断晶圆的质量是否合格。