问答题
在量测Poly/metal导线的特性时, 是利用什么电性参数得知?
答可由电性量测所得的spacing & Rs 值来表现导线是否异常。
问答题 影响Contact （CT） Rc的主要原因可能有哪些？
问答题 什么是Rc? Rc代表什么意义？
问答题 在量测Contact /Via（是指metal与metal之间的连接）的接触窗开的好不好时, 我们是利用什么电性参数来得知的?
