问答题
什么是Rc? Rc代表什么意义？
接触窗电阻，具体指金属和半导体（contact）或金属和金属(via)，在相接触时在节处所形成的电阻，一般要求此电阻越小......
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问答题 在量测Contact /Via（是指metal与metal之间的连接）的接触窗开的好不好时, 我们是利用什么电性参数来得知的?
问答题 Top metal和inter metal的厚度，线宽有何不同?
问答题 为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug（钨插塞）？
