问答题
在量测Contact /Via(是指metal与metal之间的连接)的接触窗开的好不好时, 我们是利用什么电性参数来得知的?
通过Contact 或Via的 Rc值,Rc值越高,代表接触窗的电阻越大, 一般来说我们希望Rc 是越小越好的。
问答题 Top metal和inter metal的厚度,线宽有何不同?
问答题 为何各金属层之间的连接大多都是采用CVD的W-plug(钨插塞)?
问答题 Glue layer(粘合层)的沉积所处的位置、成分、薄膜沉积方法是什么?