单项选择题
在已扩散结深达0.8μm的p-Si上再进行湿氧，氧化层厚0.2μm时，结深是多少（）
A.0.6μmB.0.712μmC.0.512μmD.0.088μm
判断题 离子注入硼无需退火就有电活性，所以才会出现随退火温度升高反而电激活率下降的逆退火现象。
多项选择题 关于离子注入区形成非晶层的临界剂量，下面哪几种说法正确（）
多项选择题 扩散系数在何时不可以看成是常数（）
