问答题
辉光放电过程中为什么P·d太小或太大，都不容易起辉放电？
如果气体压强太低或极间距离太小，二次电子在到达阳极前不能使足够的气体分子被碰撞电离，形成一定数量的离子和二次电子，会使辉......
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问答题 简述物理气相沉积法的共同特点？
问答题 讨论工作气体压力对溅射镀膜过程的影响？
名词解释 真空规
