单项选择题
溅射中用于轰击靶材的气体是（）。
A.ArB.HeC.N2D.O2
单项选择题 PVD的定义为（）。
问答题 简述薄膜应力对X射线衍射峰的影响规律及利用X射线衍射技术测童薄膜应力的两种方法。
问答题 根据基片应变里求薄膜变形量的方法有哪些？
