填空题
目前单晶硅生产中主要采用()和()制取高纯水。
离子交换法;高纯渗析法
填空题 加热器是根据直拉单晶炉的()和所拉制单晶的()等条件确定的,一般设计成()电路形式。
填空题 常见的加热器有三种形状,筒形、杯形、螺旋形,目前绝大多数加热器为()。
填空题 直拉法生长单晶硅的热场,沿[111]晶向生长的纵向温度梯度()沿[110]晶向生长的纵向温度梯度,沿[100]晶向生长的纵向温度梯度()。