多项选择题
单晶生产过程中,对偏心拉晶方法描述正确的是()
A.籽晶轴和坩埚轴不在同垂线上,而偏离一定距离B.此法拉制的硅单晶,断面电阻率均匀性较好C.参数往往较差,只用于拉制某些特定品种的硅单晶D.是拉制大多数品种硅单晶的一种较好的方法
多项选择题 直拉法生产硅单晶工艺中,对减压拉晶工艺描述正确的是()
多项选择题 直拉法生产硅单晶工艺尽管种类繁多,下列选项中对这些工艺的工艺特点描述正确的是()
多项选择题 高纯水的制取中用离子交换法,存在哪些缺点?()