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多项选择题

单晶中径向杂质分布描述正确的是()

    A.N型单晶的掺杂元素蒸发速度常数都较大,径向电阻率受蒸发影响较大
    B.N型拉晶时的真空度、坩埚和单晶比例影响单晶径向电阻率的均匀性较大
    C.P型掺杂元素的蒸发速度常数都很小,蒸发作用不显著,对径向电阻率均匀性影响很小
    D.P型单晶真空度、坩埚和单晶比例影响较小,径向电阻率均匀性好

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    拉制单晶硅时常用的掺杂元素磷、砷、锑和硼、铝、镓,关于这些杂质的有效分凝系数描述正确的是()

    A.提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
    B.提高单晶生长速度时,K有效减小,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
    C.当生长速度无限大时,e-fδ/D趋于零,K有效=1,整个单晶都是均匀的
    D.当生长速度为零时,K有效中的e-fδ/D项等于1,那么K有效=k0,整个单晶都是均匀的

  • 多项选择题
    对有效分凝系数描述正确的是()

    A.当K0>1时,提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
    B.当K0< 1时,提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
    C.当生长速度无限大时,e-fδ/D趋于零,K有效=1,整个单晶都是均匀的
    D.当生长速度为零时,K有效中的e-fδ/D项等于1,那么K有效=1,整个单晶都是均匀的

  • 多项选择题
    影响单晶杂质浓度分布情况有以下几个方面描述正确的是()

    A.拉制硅单晶时熔体中杂质进行扩散和蒸发,结晶时杂质分凝,硅熔体还受到其他杂质的污染
    B.杂质的扩散速度很慢,一般可以忽略
    C.杂质分凝影响较大,拉制单晶硅杂质在硅中的平衡分凝系数均小于1时,单晶中杂质比熔体中少
    D.分凝出的杂质在熔体中不断积累,晶体尾部的杂质浓度也越来越高,电阻率越来越低

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