多项选择题
拉制单晶硅时常用的掺杂元素磷、砷、锑和硼、铝、镓,关于这些杂质的有效分凝系数描述正确的是()
A.提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
B.提高单晶生长速度时,K有效减小,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
C.当生长速度无限大时,e-fδ/D趋于零,K有效=1,整个单晶都是均匀的
D.当生长速度为零时,K有效中的e-fδ/D项等于1,那么K有效=k0,整个单晶都是均匀的
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多项选择题
对有效分凝系数描述正确的是()
A.当K0>1时,提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
B.当K0< 1时,提高单晶生长速度时,K有效增大,可以使单晶的纵向电阻率均匀性变好
C.当生长速度无限大时,e-fδ/D趋于零,K有效=1,整个单晶都是均匀的
D.当生长速度为零时,K有效中的e-fδ/D项等于1,那么K有效=1,整个单晶都是均匀的 -
多项选择题
影响单晶杂质浓度分布情况有以下几个方面描述正确的是()
A.拉制硅单晶时熔体中杂质进行扩散和蒸发,结晶时杂质分凝,硅熔体还受到其他杂质的污染
B.杂质的扩散速度很慢,一般可以忽略
C.杂质分凝影响较大,拉制单晶硅杂质在硅中的平衡分凝系数均小于1时,单晶中杂质比熔体中少
D.分凝出的杂质在熔体中不断积累,晶体尾部的杂质浓度也越来越高,电阻率越来越低 -
多项选择题
用纯元素掺杂剂掺杂时,描述正确的是()
A.用纯元素掺杂剂掺杂的量与多晶硅中的杂质沾污的量比较,可以忽略不计
B.用纯元素做掺杂剂单晶分凝效应较小,可以不考虑
C.用纯元素做掺杂剂单晶一般在气氛下生长,热发效应较小,可以不考虑
D.用纯元素掺杂剂掺杂的量与坩埚、氩气等沾污的量比较,不可忽略
