多项选择题
PG3000RMX减薄机润滑系统部分检查项目方法为（）。
A.检查润滑油的流量和存储量指示浮标必须在标定的记号线以上
B.润滑油流量和存储量达到设备规定的指示以上
C.检查有无漏油现象
D.润滑油和过滤网在设备运行一年后或者运行时间超过8000小时后需要更换
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多项选择题
PG3000RMX减薄机框架装载台部分检查项目方法为（）。
A.检查紧固松动部件和螺丝
B.检查真空吸嘴有无老化破损
C.检查各部位是否完好，状态有无异常。
D.检查同步带是否松动 -
多项选择题
PG3000RMX减薄机贴片台部分检查项目方法为（）。
A.观察Table面是否平整完好
B.检查紧固松动部件和螺丝
C.放置晶圆，打开真空，检查晶圆吸附后W/FTABLE真空开关显示真空大小。
D.放置框架，打开真空，检查贴片框架吸附真空大小。 -
多项选择题
PG3000RMX减薄机清洁圈部分检查项目方法为（）。
A.观察陶瓷清洁圈底面有无破损或变粗，动作是否灵活。
B.在半自动模式中选择“PLAT”单步操作，检查动作有无异常。
C.检查调整清洁圈在吸盘上的高度
D.清洁圈降低后应接触吸盘2-3mm的余量
