多项选择题
PG3000RMX减薄机真空泵检查项目方法为()。
A.听真空泵运行时有无异常声音,触摸外壳有无发热,抖动现象。
B.真空泵真空表指针是否稳定在0.08MPa以上。
C.检查真空泵供水排水管道有无松动,及排水流量是否正常。
D.检查外观是否干净,螺丝有无缺失。
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多项选择题
PG3000RMX减薄机润滑系统部分检查项目方法为()。
A.检查润滑油的流量和存储量指示浮标必须在标定的记号线以上
B.润滑油流量和存储量达到设备规定的指示以上
C.检查有无漏油现象
D.润滑油和过滤网在设备运行一年后或者运行时间超过8000小时后需要更换 -
多项选择题
PG3000RMX减薄机框架装载台部分检查项目方法为()。
A.检查紧固松动部件和螺丝
B.检查真空吸嘴有无老化破损
C.检查各部位是否完好,状态有无异常。
D.检查同步带是否松动 -
多项选择题
PG3000RMX减薄机贴片台部分检查项目方法为()。
A.观察Table面是否平整完好
B.检查紧固松动部件和螺丝
C.放置晶圆,打开真空,检查晶圆吸附后W/FTABLE真空开关显示真空大小。
D.放置框架,打开真空,检查贴片框架吸附真空大小。
