相关考题
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单项选择题
提高刻蚀速率的方法不包括（）。
A.增加刻蚀气体流量
B.提高温度
C.降低压力
D.减小刻蚀面积 -
单项选择题
刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。
A.器件性能
B.材料纯度
C.生产效率
D.成本 -
单项选择题
刻蚀机的精度主要取决于（）。
A.刻蚀方法
B.刻蚀气体
C.设备结构
D.控制系统
