相关考题
-
单项选择题
刻蚀机的维护保养重点在于（）。
A.清洁刻蚀腔
B.更换零部件
C.校准仪器
D.以上都是 -
单项选择题
提高刻蚀速率的方法不包括（）。
A.增加刻蚀气体流量
B.提高温度
C.降低压力
D.减小刻蚀面积 -
单项选择题
刻蚀过程中的侧壁垂直度主要影响（）。
A.器件性能
B.材料纯度
C.生产效率
D.成本
