多项选择题
单晶生产过程中,对偏心拉晶方法描述正确的是()
A.籽晶轴和坩埚轴不在同垂线上,而偏离一定距离
B.此法拉制的硅单晶,断面电阻率均匀性较好
C.参数往往较差,只用于拉制某些特定品种的硅单晶
D.是拉制大多数品种硅单晶的一种较好的方法
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多项选择题
直拉法生产硅单晶工艺中,对减压拉晶工艺描述正确的是()
A.连续向单晶炉膛充入等量的高纯氩气,同时真空泵不断地从炉膛内向外抽气
B.保持炉膛内稳定在10乇~20乇真空内
C.易于成晶,炉膛干净,单晶参数易于控制,生产比较稳定
D.缺点是消耗大量的高纯氩气,生产成本相对提高 -
多项选择题
直拉法生产硅单晶工艺尽管种类繁多,下列选项中对这些工艺的工艺特点描述正确的是()
A.高真空工艺单晶炉膛保持10-3乇或更高的真空度
B.低真空工艺单晶炉膛内真空度保持10-1~10-2乇
C.在拉制硅单晶时一次充入单晶炉膛内0.2~0.4kg压强高纯氩气(表压),称为不流动气氛
D.拉制硅单晶时,连续不断地向单晶炉膛内充入高纯氩,保护炉膛内气体是正压(表压),同时又使部分氩气沿管道向外溢出,这种工艺称为流动气氛 -
多项选择题
高纯水的制取中用离子交换法,存在哪些缺点?()
A.制水周期长,树脂工作周期短,容易失效
B.树脂再生操作繁重,再生时消耗大量的酸和碱再生剂,再生废液对环境的污染严重
C.用离子交换法制取高纯水仅为科研采用
D.离子交换设备复杂,需要的离子交换树脂昂贵不实用
