问答题
硅化物（salicide）的形成步骤主要可分为哪些？
①Co（或Ti）+TiN的沉积；②第一次RTA（快速热处理）来形成Salicide。③将未反应的......
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问答题 何谓硅化物( salicide)?
问答题 简单说明SAB工艺的流层中要注意哪些？
问答题 SAB是什么的缩写? 目的为何？
