问答题
SAB是什么的缩写? 目的为何?
SAB:Salicide block, 用于保护硅片表面,在RPO (Resist Protect Oxide) 的保......
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问答题 为何在离子注入后, 需要热处理( Thermal Anneal)的工艺?
问答题 简述Spacer的主要功能?
问答题 何谓Spacer? Spacer蚀刻时要注意哪些地方?