问答题
何谓硅化物( salicide)?
Si与Ti或Co形成TiSix或CoSix, 一般来说是用来降低接触电阻值（Rs, Rc）。
问答题 简单说明SAB工艺的流层中要注意哪些？
问答题 SAB是什么的缩写? 目的为何？
问答题 为何在离子注入后， 需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？
