问答题
简单说明SAB工艺的流层中要注意哪些？
①SAB 光刻后（photo），刻蚀后（etch）的图案（特别是小块区域）。要确定有完整的包覆（block）住......
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问答题 SAB是什么的缩写? 目的为何？
问答题 为何在离子注入后， 需要热处理（ Thermal Anneal）的工艺？
问答题 简述Spacer的主要功能？
