问答题
Laser mark是什么用途? Wafer ID 又代表什么意义?
Laser mark 是用来刻wafer ID, Wafer ID 就如同硅片的身份证一样,一个ID代表一片硅片的身份。
问答题 为何需要zero layer？
问答题 Wafer下线的第一道步骤是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是为何？
问答题 一般硅片的制造常以几P几M 及光罩层数(mask layer)来代表硅片工艺的时间长短，请问几P几M及光罩层数(mask layer)代表什么意义？
