问答题
为何需要zero layer?
芯片的工艺由许多不同层次堆栈而成的, 各层次之间以zero layer当做对准的基准。
问答题 Wafer下线的第一道步骤是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是为何?
问答题 一般硅片的制造常以几P几M 及光罩层数(mask layer)来代表硅片工艺的时间长短,请问几P几M及光罩层数(mask layer)代表什么意义?
问答题 工厂中硅片(wafer)的制造过程可分哪几个工艺过程(module)?