多项选择题
工业硅生产过程中，要注意的是（）
A.通过选择合理的炉子结构参数和电气参数，保证反应区有足够高的温度B.及时捣炉，帮助沉料C.保持料层有良好的透气性，及时排除反应生成的气体D.及时调整配料比，保持适宜的SiO2与碳的分子比
多项选择题 大热场的石墨坩埚往往被做成两瓣或三瓣式的原因在于（）
单项选择题 Dash工艺主要解决的是（）
单项选择题 占据晶格间隙位置的杂质原子为（）
