多项选择题
大热场的石墨坩埚往往被做成两瓣或三瓣式的原因在于（）
A.方便安装B.防止石墨坩埚被膨胀的石英坩埚撑破C.吸收剩余的熔硅凝固时体积增大而造成的应力，从而减少漏硅的危险D.降低成本
单项选择题 Dash工艺主要解决的是（）
单项选择题 占据晶格间隙位置的杂质原子为（）
单项选择题 CZ法生长单晶硅工艺依次有加料、熔化以及（）
