问答题
试述薄膜与衬底附着的机理及对附着力的影响。
薄膜与衬底的附着机理：薄膜之所以能附着在基底上，是范德华力、扩散附着、机械咬合等综合作用结果，可能涉及以下3种机理：......
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问答题 什么是低压CVD和等离子CVD？各有何优点？
问答题 简述CVD的必要条件？
问答题 简述离子镀膜的优缺点？
