判断题
PR特征必须明显;所选择区域尽可能大。
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判断题 领班或配料员根据设备生产状态,将已接受晶圆放在相应轨道的氮气柜中,将流程卡等记录放在提篮上方,并在氮气柜玻璃门标签上标注封装形式及工单号(后五位),操作过程中卡物不分离。
判断题 操作人员从相应轨道氮气柜中拿取晶圆,拿取晶圆前,检查确认流程卡备注栏有无特殊要求,有特殊要求的按特殊要求执行。
判断题 晶圆上机前,核对确认晶圆刻号与条码信息一致,倾斜晶圆,在灯光下0°~45°范围内缓慢晃动晶圆,目检确认晶圆外观,无外观缺陷后上机。