判断题 操作人员从相应轨道氮气柜中拿取晶圆，拿取晶圆前，检查确认流程卡备注栏有无特殊要求，有特殊要求的按特殊要求执行。

判断题 晶圆上机前，核对确认晶圆刻号与条码信息一致，倾斜晶圆，在灯光下0°~45°范围内缓慢晃动晶圆，目检确认晶圆外观，无外观缺陷后上机。

判断题 FCDA作业时，晶圆上机后设备扫描晶圆上条码，自动读取调用map。