多项选择题
碳元素在硅单晶中来源主要有哪些?()
A.多晶硅含碳量一般为1×1016个/cm3至3×1016个/cm3
B.石墨器件和保护气氛(氩气)中残留的氧在高温下进行化学反应生成一氧化碳
C.石墨器件清理不干净导致石墨微粒飘入熔硅中,由于石墨的主要成份为碳,导致晶体中碳原子增多
D.石英坩埚在高温下和石墨反应生成一氧化碳
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多项选择题
硅单晶析出和杂质条纹描述正确的是()
A.析出物一般是掺杂剂单质
B.同等条件下,P型掺杂的晶体比N型掺杂的晶体更容易出现析出和杂质条纹
C.同等条件下,N型掺杂的晶体比P型掺杂的晶体更容易出现析出和杂质条纹
D.掺杂量比较大的重掺杂的单晶中容易出现析出和杂质条纹 -
多项选择题
关于硅单晶生长过程中无位错单晶的生长描述正确的是()
A.纯净的籽晶和熔硅表面是保证单晶无位错生长的基本条件
B.熔硅温度变化,单晶的回熔或加快生长也可能形成位错
C.放肩、转肩、等直径生长,这些过程熔硅温度变化较大,容易产生位错
D.优良的热场是无位错单晶生长的重要条件 -
多项选择题
关于位错的描述正确的是()
A.刃型位错有确定的滑移面,在切应力的作用下,额外的原子面在滑移面上沿滑移方向推进,位错线沿滑移面移动
B.螺位错同样可以滑移,使滑移区扩大,但螺位错没有固定的滑移面,可以在任意通过螺位错线的平面上滑移
C.刃型位错没有确定的滑移面,在切应力的作用下,可以在任意通过位错线的平面上滑移
D.螺位错有固定的滑移面,额外的原子面在滑移面上沿滑移方向推进,位错线沿滑移面移动
