单项选择题
下列哪一项不属于Dry Etch设备的主要Unit（）
A.Process Chamber（反应腔）
B.Loadlock Module（加载腔）
C.Heating Chamber（加热腔）
D.Transfer Module（中转腔）
点击查看答案&解析
相关考题
-
单项选择题
在Dry Etch工程中，Active Etch工艺不会被刻蚀到的Film是（）
A.G-SiNx
B.P-SiNx
C.N+a-SiNx
D.a-Si -
单项选择题
CVD中干泵进行Purge和Sealing的气体是（）
A.N2
B.CO
C.H2
D.CO2 -
单项选择题
CVD设备中可以检测到Glass是否Broken的装置是（）
A.Process Chamber
B.Transfer Chamber
C.DSSL
D.Scrubber
